韓國(guó)SK Materials于6月17日發(fā)布消息稱，已啟動(dòng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工序的氟化氫氣體的量產(chǎn)。

日本經(jīng)濟(jì)新聞中文網(wǎng)報(bào)道稱，SK Materials生產(chǎn)的氟化氫據(jù)稱達(dá)到了一定水平的高純度，三星電子和SK海力士將采用。

報(bào)道稱，SK Materials已在韓國(guó)東部的榮州市的工廠啟動(dòng)量產(chǎn)。該公司表示，實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的氟化氫氣體達(dá)到被稱為“five nine（5個(gè)9）”的純度，即99.999％。雖然品質(zhì)仍低于日本原材料廠商11個(gè)9的超高純度，但已開(kāi)始用于半導(dǎo)體晶圓清洗等部分生產(chǎn)工序。

2019年7月，日本政府宣布對(duì)出口韓國(guó)的半導(dǎo)體工業(yè)材料加強(qiáng)審查和管控，并將韓國(guó)排除在貿(mào)易“白色清單”以外。

這些半導(dǎo)體材料主要是氟聚酰亞胺、抗蝕劑和高純度氟化氫，是智能手機(jī)、芯片等產(chǎn)業(yè)的重要原材料。作為韓國(guó)三大半導(dǎo)體企業(yè)的三星、SK海力士和LG對(duì)日本產(chǎn)上述材料依賴度相當(dāng)高。

報(bào)道稱，SK Materials在日本加強(qiáng)對(duì)韓出口管制之后，于2019年11月建立了相關(guān)材料的開(kāi)發(fā)中心。在充分利用SK海力士設(shè)立的基金資金的同時(shí)，一直推進(jìn)實(shí)現(xiàn)氟化氫量產(chǎn)化的研發(fā)。目前已使全年15噸規(guī)模的生產(chǎn)設(shè)備投入運(yùn)行，計(jì)劃到2023年將韓國(guó)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)所需的氟化氫國(guó)產(chǎn)化率提高至70％。