【編者按】

壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)是經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展的動(dòng)力引擎。

站在2023年的新起點(diǎn)，澎湃園區(qū)懇談會(huì)推出新春特輯“浪尖2023”，五問(wèn)經(jīng)濟(jì)學(xué)家、產(chǎn)業(yè)專家、企業(yè)高管、投資人，尋求元宇宙、芯片、光刻機(jī)、氫能、自動(dòng)駕駛、機(jī)器人、腦機(jī)接口、創(chuàng)新藥等產(chǎn)業(yè)的突破點(diǎn)。 

傅小凡 制圖

澎湃新聞：您認(rèn)為2022年中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)最熱的關(guān)鍵詞有哪些？

傅志偉：我覺得有這樣幾個(gè)關(guān)鍵詞，應(yīng)該也是行業(yè)里的普遍共識(shí)，第一個(gè)是“直面打壓”，第二個(gè)是“眾志成城”，第三個(gè)是“國(guó)產(chǎn)替代”，第四個(gè)是“創(chuàng)新發(fā)展”。 

澎湃新聞：請(qǐng)您選擇其中一個(gè)關(guān)鍵詞，說(shuō)說(shuō)這個(gè)詞對(duì)芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的意義？

傅志偉：我想說(shuō)說(shuō)“國(guó)產(chǎn)替代”，這也是我們目前參與的重點(diǎn)。中美關(guān)系進(jìn)入目前這個(gè)階段，不光是半導(dǎo)體，其他很多行業(yè)，一直在提國(guó)產(chǎn)替代，但之前，國(guó)產(chǎn)替代的壓力與動(dòng)力還是來(lái)自于外部。起初我們提國(guó)產(chǎn)替代的時(shí)候，是因?yàn)閲?guó)外相關(guān)的東西要斷供而造成的緊迫感，比如原料要斷，上游的技術(shù)要斷等情形。但是我覺得國(guó)產(chǎn)替代實(shí)際上應(yīng)該是來(lái)自于我們本身，來(lái)自國(guó)內(nèi)這些產(chǎn)業(yè)的內(nèi)生驅(qū)動(dòng)力。國(guó)內(nèi)的各個(gè)產(chǎn)業(yè)，特別是芯片產(chǎn)業(yè)，要想進(jìn)一步發(fā)展，關(guān)鍵在于對(duì)國(guó)產(chǎn)替代一定要形成內(nèi)生的動(dòng)力，這樣才能形成一個(gè)更可靠、更成熟的體系。 

澎湃新聞：2023年，您最看好怎樣的光刻膠生產(chǎn)企業(yè)？從產(chǎn)業(yè)角度，如何建立良好的光刻膠研發(fā)與生產(chǎn)生態(tài)？

傅志偉：在我心目中，一個(gè)光刻膠生產(chǎn)企業(yè)，不能只做光刻膠。光刻膠屬于化學(xué)材料，所以光刻膠企業(yè)它最起碼有一個(gè)比較完整的化學(xué)體系和生態(tài)。只有做好全產(chǎn)業(yè)鏈的供應(yīng)，全體系、全品類的光刻膠研發(fā)，以及針對(duì)整個(gè)光刻技術(shù)和化學(xué)的研究，把這兩個(gè)領(lǐng)域真正貫穿起來(lái)，這樣的公司才是真正比較好的光刻膠生產(chǎn)企業(yè)，在未來(lái)也更具有發(fā)展?jié)摿Α?/p>

從產(chǎn)業(yè)的角度來(lái)看，我覺得建立良好的光刻膠研發(fā)和生產(chǎn)的關(guān)鍵，就是生產(chǎn)企業(yè)要和下游企業(yè)，有一個(gè)比較好的驗(yàn)證體系和應(yīng)用體系。光刻膠企業(yè)必須深入到芯片廠，和他們共同推進(jìn)工藝的迭代，共同去做光刻膠相對(duì)應(yīng)的開發(fā)。這樣在保證光刻膠企業(yè)穩(wěn)定的供應(yīng)與生產(chǎn)的同時(shí)，也能確保芯片廠在采購(gòu)和使用相關(guān)光刻膠產(chǎn)品時(shí)有的放矢，物盡其用。

光刻膠的原材料基本上都與化學(xué)相關(guān)，精細(xì)化工領(lǐng)域必須有一個(gè)比較完整全面的、綜合良好的生態(tài)。光刻膠跨的專業(yè)門類還是比較多的，所以在國(guó)產(chǎn)化替代的進(jìn)程中，一個(gè)好的光刻膠公司，它不能單純只做一個(gè)點(diǎn)，它同時(shí)要做一個(gè)面，因?yàn)楣饪虒?shí)際上就是一個(gè)微加工的工藝，行業(yè)中的相關(guān)企業(yè)要對(duì)于這種微加工技術(shù)的各方面工藝要求和材料需求有非常全面的研究和把握。 

澎湃新聞：目前中國(guó)與光刻膠相關(guān)產(chǎn)業(yè)園區(qū)的發(fā)展遇到的問(wèn)題和困難是什么？需要從哪些方向解決這些問(wèn)題？

傅志偉：光刻膠本身是?；?，所有光刻膠的生產(chǎn)必須進(jìn)化工園區(qū)。而真正的化工園區(qū)往往和國(guó)內(nèi)芯片廠，距離比較遠(yuǎn)。光刻膠企業(yè)側(cè)，有大量工作需要在客戶端，或者說(shuō)是應(yīng)用端去做，這就導(dǎo)致產(chǎn)業(yè)鏈分布比較散，協(xié)同性不夠。

另外，光刻膠發(fā)展大家不要一窩蜂地上，而是針對(duì)光刻膠的技術(shù)進(jìn)行深耕，積累長(zhǎng)期經(jīng)驗(yàn)。光刻膠作為一個(gè)應(yīng)用性學(xué)科，也是一個(gè)經(jīng)驗(yàn)性學(xué)科，它本身的研發(fā)必須有長(zhǎng)周期積累，才有可能真正地進(jìn)入到光刻膠的深度開發(fā)。

光刻膠自主生產(chǎn)和研發(fā)對(duì)我們的必要性，就在于它猶如半導(dǎo)體材料行業(yè)的核武器，對(duì)我們國(guó)家的整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)，有著一劍封喉的威力。有人可能會(huì)覺得是不是危言聳聽？絕非如此，因?yàn)楣饪棠z在整個(gè)原料成本中的比例并不大，只有5%左右，但由于它的放大效應(yīng)，這區(qū)區(qū)5%，會(huì)讓之后所有的芯片生產(chǎn)步驟陷入停頓。

我們現(xiàn)在普遍都知道光刻機(jī)的卡脖子問(wèn)題，會(huì)讓我們所有的工藝都停下來(lái)，但是在材料領(lǐng)域，光刻膠對(duì)于中國(guó)的危機(jī)程度，或者說(shuō)卡脖子的程度可能更嚴(yán)重。光刻工藝主要的組成就是一個(gè)設(shè)備——光刻機(jī)，一個(gè)材料——光刻膠，再加上最終的工藝，工藝就是我們平時(shí)說(shuō)的幾納米的制程。光刻機(jī)我們已經(jīng)買了很多，成熟制程的光刻機(jī)也還是有的，但目前光刻膠95%以上都仍依賴進(jìn)口。并且與光刻機(jī)不同，光刻膠是耗材，是每天都要在光刻機(jī)上使用的。

我們現(xiàn)在主要進(jìn)口的光刻膠來(lái)自于國(guó)外七八家光刻膠企業(yè)，光刻膠最短的保質(zhì)期是三個(gè)月，長(zhǎng)的是半年，最長(zhǎng)一年。因?yàn)樗谋Ｙ|(zhì)期短，無(wú)法像其他材料一樣做庫(kù)存，做長(zhǎng)期儲(chǔ)備。

所以對(duì)于中國(guó)來(lái)說(shuō)，光刻膠的“一劍封喉”就體現(xiàn)在：如果國(guó)外說(shuō)斷光刻機(jī)，我們還能拿以前的光刻機(jī)去生產(chǎn)；如果說(shuō)斷光刻膠，我們?cè)谌齻€(gè)月之內(nèi)就會(huì)一籌莫展。而解決這一問(wèn)題的唯一辦法，就是光刻膠的國(guó)產(chǎn)化替代，國(guó)產(chǎn)替代已經(jīng)成為我們光刻膠行業(yè)迫在眉睫的一件事情。

光刻膠區(qū)別于其他化學(xué)品的地方在于，它是復(fù)雜的混合配方，是沒法做逆向工程的，也沒法做單一的理化檢測(cè)。一瓶光刻膠生產(chǎn)出來(lái)以后，它的好壞只有在產(chǎn)線上，把芯片生產(chǎn)出來(lái)，看到了芯片的良率，才知道這批光刻膠究竟質(zhì)量如何。

而在國(guó)產(chǎn)替代的過(guò)程中，我們?nèi)砸鉀Q很多問(wèn)題，首先就是光刻膠的種類非常多，而生產(chǎn)一種制程或者芯片，又要用到多種光刻膠。比如說(shuō)，某種芯片需要用到20種光刻膠，你研發(fā)解決了19種，哪怕有一種沒有解決，光刻膠的卡脖子問(wèn)題都沒有被真正解決。

第二個(gè)問(wèn)題是，單一品類的光刻膠，是沒有第二供應(yīng)商的。因?yàn)槿魏我粭l產(chǎn)線，只能用某一種光刻膠，如果同時(shí)用兩家的，因?yàn)榕浞讲煌?，混在一起就徹底?bào)廢了。反過(guò)來(lái)就等于客戶對(duì)于光刻膠供應(yīng)商的依賴度是很強(qiáng)的?；谶@些困難，芯片廠也不太愿意輕易去更換原來(lái)的光刻膠供應(yīng)商。所以這就形成了光刻膠導(dǎo)入到客戶端，是一個(gè)非常難的問(wèn)題。芯片廠不敢輕易去換你的產(chǎn)品，你會(huì)做的品類少，你會(huì)做的客戶本來(lái)就在用，你不會(huì)做的別的供應(yīng)商還會(huì)做，芯片廠也更樂(lè)于去找光刻膠品類全、成熟的供應(yīng)商來(lái)完成它的供應(yīng)體系。

解決方法，我覺得最主要的兩方面，第一，開發(fā)光刻膠不應(yīng)該只是開發(fā)某一款、某一類，而應(yīng)該是針對(duì)于整個(gè)工藝制程，進(jìn)行全品類的開發(fā)。

第二，光刻膠不能只是閉門造車地開發(fā)，相關(guān)配方要結(jié)合下游的廠家共同研發(fā)，同時(shí)要結(jié)合整個(gè)上游的原料供給，進(jìn)行整體全體系的、全產(chǎn)業(yè)鏈的開發(fā)，才有可能真正解決光刻膠卡脖子問(wèn)題。 

澎湃新聞：從推動(dòng)光刻膠自主研發(fā)的角度，談?wù)剬?duì)新一年的期待？

傅志偉：在國(guó)產(chǎn)化替代的進(jìn)程中，我期待著整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈對(duì)國(guó)產(chǎn)化替代的需求和認(rèn)可進(jìn)一步加深，大家眾志成城、齊心協(xié)力解決問(wèn)題的精神可以延續(xù)；期待和上游供應(yīng)鏈、下游客戶合作延續(xù)，還有政策對(duì)我們行業(yè)的繼續(xù)扶持。我相信有了這些，再加上我們這些光刻膠企業(yè)這些年來(lái)的基礎(chǔ)，2023年我們會(huì)有一個(gè)比較快速的增長(zhǎng)。

我們預(yù)計(jì)，2023年國(guó)內(nèi)芯片廠所用全部光刻膠品類起碼一半以上，會(huì)有國(guó)內(nèi)光刻膠推到產(chǎn)線上去做相關(guān)的驗(yàn)證、生產(chǎn)和使用。隨著產(chǎn)線的進(jìn)一步運(yùn)轉(zhuǎn)，我們產(chǎn)品的使用率不斷提高，我們應(yīng)該會(huì)有很多品種的光刻膠，大批量地在產(chǎn)線上進(jìn)行國(guó)產(chǎn)化替代。

對(duì)于光刻膠行業(yè)來(lái)說(shuō)，2023年是非常關(guān)鍵的一年，也是我們整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)非常關(guān)鍵的一年。如果能夠在2023年初步解決并形成我們整個(gè)供應(yīng)體系，或者說(shuō)為這個(gè)供應(yīng)體系打下一個(gè)比較好的基礎(chǔ)，我想未來(lái)再過(guò)兩三年，光刻膠真正解決國(guó)產(chǎn)化替代，尤其在成熟工藝上面，都是值得期待的。

海報(bào)設(shè)計(jì) 傅小凡